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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경운대학교 산학협력단 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-05 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201200008918 |
과제고유번호 | 1425069263 |
사업명 | 산학연협력기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
측정장비로부터 전달된 평탄도 정보로부터 3차원 모델러에 의해 시각화된 정보를 제공한다. 제공된 3차원 제품 모델을 시뮬레이터에 내장된 여러가지 연마 도구에 의해 가상적으로 연마작업을 실시하여 희망하는 평탄률을 가진 제품을 완성한 후 연마작업 내용을 저장하고 원 제품의 연마시 연마기에 대한 연마 위치나 연마시간을 제어할 수 있는 정보를 출력한다. 이러한 과정을 통해 수십나노단위까지의 평탄도를 갖는 웨이퍼스테이지의 생산을 가능하게 한다.
2. 개발내용 및 결과
- 제품의 평탄도 정보 포맷 정의
- 제
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