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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서강대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 이희우 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201300019241 |
과제고유번호 | 1345146124 |
사업명 | 기본연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-07-29 |
본 연구는 차세대 반도체용 초저유전물질을 개발하는 것으로서 반응형 기공형성물질을 이용하여 낮은 유전율 및 우수한 기계적 물성을 지니는 초저유전 박막의 개발을 최종 목표로 하였으며, 특히 UV 조사를 통하여 더욱 우수한 기계적 특성을 가지는 초저유전박막의 고강도화를 목표로 하였다.
기존 포로젠 후보군 중 카본 잔류물이 남지 않는 환원당 물질에 알릴레이션과 하이드로실릴레이션을 통해 trimethoxy silane (TMS)기를 말단에 치환하여 반응형 포로젠을 개발하였고, 다양한 포로젠을 매트릭스에 도입하여 초저유전 박막을 제조했다
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