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NTIS 바로가기주관연구기관 | DCT머티리얼 |
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연구책임자 | 이근수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-12 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800040000 |
과제고유번호 | 1415143455 |
사업명 | 산업현장핵심기술수시개발 |
DB 구축일자 | 2018-10-20 |
키워드 | 저유전율.하드마스크.스핀코팅. |
핵심기술
반도체 미세화 공정을 위해 4이하의 낮은 유전상수를 가지는 습식 스핀코팅 하드마스크용 유무기 하이브리드 폴리머 및 조성물 개발
최종목표
1. 주관기관(DCT material)
- Low k 하드마스크 폴리머 개발
- 생산성, 재현성이 용이한 대량 중합 기술 개발
2. 참여기관(영창케미칼)
- Low k 하드마스크 조성물 양산화 기술 개발
- 300㎜ 대면적 코팅기술 개발
개발내용 및 결과
· 기존에 절연막으로 사용 중인 폴리실라잔 기반 SiO
목차 Contents
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