초록 ▼

연구목표: 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일팁-다중 잉크 시스템을 위한 zero-reference 나노구조체 개발
연구수행 내용:
● 원뿔형 금속(금/은) 혹은 반도체(ZnO) 나노구조체 제조: 포토리소그래피와 비등방적 실리콘 식각을 통해서 원뿔형 zero-reference의 성공적인 제작: 5um 크기의 패턴을 통해 수십 nm 이하의 첨탑 형성하여 기본적인 나노구조의 template 완성
- 전통적인 포토리소그래피 방법을 사용하여 Si3N4 박막 (100 nm)를 RIE 방법을 통해 패턴을 완성하고, 이를 TMOH

연구목표: 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일팁-다중 잉크 시스템을 위한 zero-reference 나노구조체 개발
연구수행 내용:
● 원뿔형 금속(금/은) 혹은 반도체(ZnO) 나노구조체 제조: 포토리소그래피와 비등방적 실리콘 식각을 통해서 원뿔형 zero-reference의 성공적인 제작: 5um 크기의 패턴을 통해 수십 nm 이하의 첨탑 형성하여 기본적인 나노구조의 template 완성
- 전통적인 포토리소그래피 방법을 사용하여 Si3N4 박막 (100 nm)를 RIE 방법을 통해 패턴을 완성하고, 이를 TMOH (tetramethylammonium hydroxide)를 이용한 이방적인(anisotrophic) 에칭을 통해 원뿔 및 피라미드 형태의 나노구조체를 완성함
- 같은 PR을 사용하여 음각과 양각 모두 패턴을 형성할 수 있었으며 이를 이용해서 실리콘 뿐 아니라, 고분자 바이오칩에 똑같은 나노구조를 형성함을 입증
● 원뿔형 나노구조체와 외부전극과의 통합: 원뿔형 나노구조체에 금 전극을 통합하기 위하여 Shadow Mask와 sputterer를 이용하여, 기하학적인매칭 성공 (포토리소그래피와 Shadow Mask의 통합 실험 성공, 연구결과의 SEM/광학 이미지 참조)
● 생체고분자 물질의 나노전달 연구: 형광현미경을 통해 딥-펜 나노리소그래피의 실현하였으며, 제조된 DPN 기판이 향후 바이오나노 연구에 중요한 역할을 하리라 판단됨
● 딥펜 나노리소그래피를 위한 번짐 현상이 억제된 유리기판제조기술: 딥-펜 나노리소그래피를 이용한 바이오칩을 구현함에 있어서, 바이오칩의 노이즈를 제거할 수 있는 표면수식 방법을 개발하여 국내 특허를 출원/등록하였음
● Dark-field 이미지를 이용한 AFM팁의 정렬을 위한 가변 파장의 금 나노입장의 제조와 선택적 분리: 광학현미경을 이용하여 DPN 실험기판(100x100 um2)의 위치를 확인하는데 있어서, 잠재적으로 유용한 금속나노입자의 합성법과 특정파장에 공명하는 나노입자의 분리방법을 확립하여 저명저널에 발표

목차 Contents

• 일반연구자지원사업 최종(결과)보고서 ... 1
• 목차 ... 3
• I. 연구결과 요약문 ... 4
• II. 연구내용 및 결과 ... 5
• 1. 연구과제의 개요 ... 5
• 2. 국내외 기술개발 현황 ... 5
• 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 6
• 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 8
• 5. 연구결과의 활용계획 ... 8
• 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 8
• III. 연구성과 ... 9