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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 송종한 |
보고서유형 | 중간보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-01 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 지식경제부 |
사업 관리 기관 | 정보통신산업진흥원 |
등록번호 | TRKO201300020142 |
과제고유번호 | 1415118758 |
사업명 | 정보통신연구기반구축 |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
키워드 | 차세대 반도체.분석.나노재료.나노 소자.분석 이슈.TEM.EELS.FIB.DRAM. |
1. (최종년도, 당해년도) 목표
차세대 반도체 소자, 소재 및 장비 개발에 요구되는 최첨단 극미세 측정/분석 기술을 지원하기 위한 최상의 측정/분석 장비 및 전문가 구축
2. 당해 기반구축 목적 및 중요성
본 사업은 최첨단 극미세 측정/분석법이 요구되는 차세대 반도체 산업을 체계적으로 지원하기 위한 차세대 반도체 분석 종합지원체계를 구축하여 반도체 소자업체, 반도체 관련 중소업체 및 차세대 반도체 개발 연구를 지원하는데 있음. 이를 위하여 차세대 반도체 분석에 필요한 최고 분석 장비를 구축하여 분석 전문가에 의해
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