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NTIS 바로가기주관연구기관 | 석원 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-03 |
주관부처 | 산업통상자원부 |
사업 관리 기관 | 한국산업단지공단 Korea Industrial Complex Corporation |
등록번호 | TRKO201300022675 |
DB 구축일자 | 2014-01-13 |
키워드 | 태양전지,유연기판,스퍼터링 공정,대면적 증착CIGS |
1. 최종목표
본 연구 개발 과제의 목표는 '대면적 플렉서블 CIGS 박막 태양전지용 공정장비 개발'로 복잡한 단계의 CIGS 박막 태양전지공정을 최적화하여 진공 연속 공정을 최적화하여 공정 시간의 단축과 대면적화하였을 때 공정 안전성을 기할 수 있는 공정장비를 개발하는 것이다.
2. 개발내용 및 결과
연구 개발 내용은 스퍼터 공정을 통하여 박막의 성막 균질도가 대면적에서도 안정적으로 증착되는 CIGS 박막 태양전지용 공정 장비 기술의 개발로 Mo 전극, CIG와 Se 증착과 버퍼층 및 ZnO 또는
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