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플렉서블 대면적 CIGS 태양전지용 공정장비 개발

보고서 정보
주관연구기관 석원
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2011-03
주관부처 산업통상자원부
사업 관리 기관 한국산업단지공단
Korea Industrial Complex Corporation
등록번호 TRKO201300022675
DB 구축일자 2014-01-13
키워드 태양전지,유연기판,스퍼터링 공정,대면적 증착CIGS

초록

1. 최종목표
본 연구 개발 과제의 목표는 '대면적 플렉서블 CIGS 박막 태양전지용 공정장비 개발'로 복잡한 단계의 CIGS 박막 태양전지공정을 최적화하여 진공 연속 공정을 최적화하여 공정 시간의 단축과 대면적화하였을 때 공정 안전성을 기할 수 있는 공정장비를 개발하는 것이다.
2. 개발내용 및 결과
연구 개발 내용은 스퍼터 공정을 통하여 박막의 성막 균질도가 대면적에서도 안정적으로 증착되는 CIGS 박막 태양전지용 공정 장비 기술의 개발로 Mo 전극, CIG와 Se 증착과 버퍼층 및 ZnO 또는

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 『생산기술사업화 지원사업(현장맞춤형 기술개발 부문) 』 최종보고서 ... 2
  • 제출문 ... 3
  • 생산기술사업화 지원사업(현장맞춤형 기술개발 부문) ... 4
  • 목차 ... 5
  • 제1장 서론 ... 6
  • 제1절 기술 개발 필요성 ... 6
  • 제2절 국내·외 관련기술의 현황 ... 9
  • 제2장 기술개발 내용 및 방법 ... 11
  • 제1절 기술 개발 목표 ... 11
  • 제2절 기술 개발 계획 ... 11
  • 제3절 개발 기술의 평가방법 및 평가항목 ... 13
  • 제4절 기술 개발 내용 ... 14
  • 제5절 기술 개발 사업화 전망 및 계획 ... 29
  • 제3장 결과 ... 31
  • 제1절 기술 개발 결론 ... 31
  • 제2절 기타 결과 ... 32
  • 제3절 추가 개발 진행 ... 32
  • 부록 ... 33
  • 사업비 사용실적 보고서 ... 34
  • 시험 분석료 소명 확인서 ... 53
  • 끝페이지 ... 55

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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