초록 ▼

○ 플렉서블 박막 태양전지 고효율화 기술개발
- Ga grading을 이용한 CIGS 광흡수층 제작공정 확보
- 플렉서블 기판을 이용하기 위한 CIGS 광흡수층의 저온 증착기술 확보
- Mo:Na 타겟을 이용한 CIGS 광흡수층의 Na 도핑기술 확보
- 진공증착 버퍼층 증착공정
- ZnO 투명전도막 증착을 위한 PLCVD 시스템 구축
- 플렉서블 기판상 CIGS 박막 태양전지 효율 15.04% 달성
○ 프린터블 실리콘 태양전지 개발
- 실리콘 나노입자용 기상도핑시스템 구축 (B_2<

○ 플렉서블 박막 태양전지 고효율화 기술개발
- Ga grading을 이용한 CIGS 광흡수층 제작공정 확보
- 플렉서블 기판을 이용하기 위한 CIGS 광흡수층의 저온 증착기술 확보
- Mo:Na 타겟을 이용한 CIGS 광흡수층의 Na 도핑기술 확보
- 진공증착 버퍼층 증착공정
- ZnO 투명전도막 증착을 위한 PLCVD 시스템 구축
- 플렉서블 기판상 CIGS 박막 태양전지 효율 15.04% 달성
○ 프린터블 실리콘 태양전지 개발
- 실리콘 나노입자용 기상도핑시스템 구축 (B₂H₆, PH₃)
- 결정질 및 비정질 실리콘 나노입자 제조공정 확보 및 단위박막 제조공정 확립
- 표면 텍스쳐 반사율 13.4% 확보 및 균일도 92% 확보
- 에미터층 형성을 위한 면저항 30-120 Ω/□ 가변 조건 확보 및 균일도 ±5% 이내
- 반사방지막 대면적 균일도(±5% 이내) 개선 및 표면 패시베이션 효과 최적화
- 전류 및 주파수 가변에 따른 외곽접합분리(edge isolation) 최적 조건 확립
- Conventional Screen-Printed 태양전지 제조를 통한 단위 공정 확인
- 선택적 에미터를 적용한 태양전지 변환효율 18.4% 달성

Abstract ▼

○ Development of high efficiency flexible thin film solar cells
- Enhancement of CIGS light absorber layer by Ga grading
- Development of CIGS light absorber layer deposition technique at a relatively lower temperature
- Establishment of LPCVD system for transparent conducting layer deposit

○ Development of high efficiency flexible thin film solar cells
- Enhancement of CIGS light absorber layer by Ga grading
- Development of CIGS light absorber layer deposition technique at a relatively lower temperature
- Establishment of LPCVD system for transparent conducting layer deposition with high mobility and high transparency
- Achievement of 15.04% conversion efficiency of flexible CIGS thin film solar cell
○ Development of printable silicon solar cells
- Establishment of vapor doping systems of silicon nano-particles (B₂H₆, PH₃)
- Fabrication of amorphous and crystalline silicon nano-particles and thin-films by non-vacuum coatings of silicon nano-inks
- Establishment of surface texturing process of silicon wafer (R ~13.5%)
- Establishment of emitter doping process (Sheet resistance 30-120 Ω/□)
- Development of AR coating and surface passivation technologies
- Establishment of edge isolation process by laser ablation
- Establishment of solar cell fabrication processes by screen printing methods
- Achievement of 18.4% conversion efficiency of solar cells with selective emitter

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 3
• 요약문 ... 5
• SUMMARY ... 8
• CONTENTS ... 11
• 목차 ... 12
• 그림목차 ... 14
• 표 목차 ... 20
• 플렉서블 박막 태양전지 고효율화 기술개발 ... 21
• 제 1 장 서 론 ... 23
• 제 1 절 플렉서블 CIGS 박막 태양전지 ... 23
• 제 2 절 플렉서블 CIGS 박막 태양전지 기술개발 동향 ... 31
• 제 2 장 고효율 플렉서블 CIGS 태양전지의 박막공정 개발 ... 39
• 제 1 절 Mo:Na 후면전극 개발 ... 40
• 1. 연구내용에 대한 소개 ... 41
• 2. 실험 장치 및 방법 ... 43
• 3. Mo:Na 증착조건 최적화 ... 45
• 가. 공정변수와 증착된 Mo:Na 박막의 비저항의 관계 분석 ... 46
• 나. Mo:Na 후면전극의 경도 분석 ... 50
• 다. 유연기판과의 접착성 테스트 ... 52
• 4. Mo:Na 후면전극의 Na 공급능력 검증 ... 53
• 5. 플렉서블 CIGS 태양전지 셀 공정결과 ... 59
• 제 2 절 진공방식의 버퍼층 증착기술 개발 ... 63
• 1. 개 요 ... 63
• 2. 실험 장치 및 방법 ... 65
• 3. 공정 조건에 따른 버퍼층용 ZnS 박막의 특성 비교 ... 66
• 제 3 절 LPCVD를 이용한 ZnO 투명전극 증착기술 개발 ... 74
• 1. 개 요 ... 74
• 2. 장비 사양 ... 76
• 3. 기판 균일도 측정 ... 78
• 4. 공정 조건에 따른 ZnO:B 박막 특성 ... 79
• 참고문헌 ... 84
• 프린터블 실리콘 태양전지 개발 ... 87
• 제 1 장 서 론 ... 89
• 제 2 장 실리콘 나노입자 제조기술 개발 ... 93
• 제 1 절 실리콘 나노입자 제조 ... 96
• 제 2 절 실리콘 나노입자 분석 ... 102
• 제 3 절 실리콘 나노입자 페이스트 제조 ... 111
• 제 3 장 태양전지 적용기술 개발 ... 115
• 제 1 절 결정질 실리콘 태양전지 제조 공정 ... 115
• 제 2 절 Selective emitter형 태양전지 공정 연구 ... 130
• 제 3 절 실리콘 이종접합 태양전지 제조 ... 135
• 제 4 절 유무기 하이브리드 태양전지 제조 ... 140
• 참고문헌 ... 146
• 서지정보양식 ... 153
• BIBLIOGRAPHIC INFORMATION SHEET ... 154
• 끝페이지 ... 154