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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 부설 재료연구소 |
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연구책임자 | 이정환 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-01 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 산업기술연구회 |
등록번호 | TRKO201300029634 |
과제고유번호 | 1415110799 |
사업명 | 산업기술연구회연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2013-10-05 |
키워드 | 서셉터.정전척(ESC).저열팽창 금속모재.표면제어.코팅.주단조.접합.Susceptor.Electrostatic Chuck.Low Thermal Expansion Coefficient.Surface Control.Coating.Casting.Bonding. |
●Susceptor/ESC 소재 기술 개발
- 반도체용 중온용 금속소재 합금설계 및 제조 → 신금속소재 열팽창계수 12ppm/℃ 이하 (작동온도: 450 ~ 600 ℃)
- 내플라즈마반응성 높은 신 코팅 소재 개발 Al2O3 대비 1.2배 이상
- 방사율이 기존 세라믹 서셉터 소재에 대응할 수 있는 금속 모재 개발
●고내식 내플라즈마 표면 제어 및 코팅 기술 개발
- breakdown voltage가 상온 10 V/㎛, 고온 (500 ℃) 1.5 V/㎛ 이상이고,
- 코팅층 두께 균일도가 +- 12
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