초록 ▼

1. 최종 개발목표
○ 태양전지 제조 장비인 PECVD용 6세대급 양산용 서셉터 개발
1. 내구성 (시간) : 40(비중), 720(세계최고 수준), 2,160(개발목표), 2,361(개발결과) - 달성
2. 최대소요전력 (kW) : 20(비중), 60(세계최고 수준), 48(개발목표), 36(개발결과) - 달성
3. 온도균일도 (%) : 20(비중), 3.0(세계최고 수준), 1.5(개발목표), 1.36(개발결과) - 달성
4. 최대처짐 (mm) : 10(비중), 8(세계최고 수준), 5(개발목표)

1. 최종 개발목표
○ 태양전지 제조 장비인 PECVD용 6세대급 양산용 서셉터 개발
1. 내구성 (시간) : 40(비중), 720(세계최고 수준), 2,160(개발목표), 2,361(개발결과) - 달성
2. 최대소요전력 (kW) : 20(비중), 60(세계최고 수준), 48(개발목표), 36(개발결과) - 달성
3. 온도균일도 (%) : 20(비중), 3.0(세계최고 수준), 1.5(개발목표), 1.36(개발결과) - 달성
4. 최대처짐 (mm) : 10(비중), 8(세계최고 수준), 5(개발목표), 3.7(개발결과) - 달성
5. 최대온도 (℃) : 10(비중), 480(세계최고 수준), 480(개발목표), 480(개발결과) - 달성

2. 개발내용 및 결과
개발내용 1. 열선배치 설계
· 서셉터의 열선배치에 대한 최적화 설계를 진행하였으며, 서셉터 바깥 모서리 부근의 방열을 고려하여 내부와 외부 2개 영역으로 분리 설계 진행됨
· 공급 전력을 설계된 서셉터의 열용량에 적절한 36kW로 설계하고 이에 맞도록 내외부 열선을 설계함
개발내용 2. 공간형성 설계
· 서셉터의 열선 배치를 위한 공간을 형성한 후 FEM Simulation을 통해 브릿지나 리브 등 구조 형성 최적화를 진행함
· 최적화된 설계에 의해 제작된 서셉터의 시험 후 변형을 측정한 결과 3.7mm로 목표값 5mm 이내를 만족함
개발내용 3. CNT 충전공정
· CNT Paste는 IPA를 사용하여 추후 건조과정이 용이하게 하였음
· Paste는 건조 및 충전을 3회에 걸쳐 진행하였음
개발내용 4. 온도제어기 설계 및 제작
· 서셉터 온도를 제어하기 위한 PID 방식의 제어기가 설계 제작됨
· 본 제어기로 평가 시험이 진행됨
개발내용 5. 서셉터 제작 및 시험
· 6세대급 서셉터가 Proto, Pilot, Production 제품으로 설계 및 제작되었음
· 수요자와의 협의로 설계 제작된 Production 서셉터는 판매되었고, 이외 1건의 매출이 추가적으로 발생함
개발내용 6. 진공챔버 설계 제작
· 온도균일도 및 제반시험을 위한 챔버가 설계 제작되었음
· 이를 활용한 승온시험 및 내구시험이 진행됨
개발내용 7. 시험 및 평가
· 온도균일도 및 내구성 시험, 변형량 측정이 진행됨
· 본 시험평가는 정부출연연구소인 한국생산기술연구원에 의뢰하여 시험성적서를 작성함

3. 실적 및 기대효과 (기술적 및 경제적 효과)
○ 과제 진행 중 실적
· 국내 장비사에 AMOLED 6세대급 2건를 판매하여 65,700,000원의 매출이 발생
· 관련 특허를 4건 출원하고 3건이 등록되어 지적재산권 확보
○ 과제 완료 후 예상실적
· 완료후 1년 이내 30억 매출, 신규 고용 8명 예상
· 완료 후 3년 이내 200억원, 신규 고용 40명 이상이 예상됨

4. 적용분야
○ 디스플레이 및 태양광 제조 장비
· AMOLED, LCD 제조용 PECVD, Sputter 장비
· 태양광용 PECVD장비 및 Lamination 장비
○ 반도체 제조 장비
· 박막 증착용 PECVD, Sputter 장비
· 사진 공정용 Track 장비 (PR 건조)
¡ 기타 일반 산업 분야
· 고정밀의 온도 균일도가 필요한 히터 분야

(출처 : 부품소재기술개발사업 최종보고서 초록)

목차 Contents

• 표지 ... 1최 종 보 고 서 제 출 서 ... 2제 출 문 ... 3부품소재기술개발사업 최종보고서 초록 ... 4목차 ... 7제1장 서 론 ... 8 제1-1절 기술개발대상 부품·소재 ... 8 1-1-1. 부품·소재의 형상 및 명칭 ... 8 1-1-2. 부품·소재의 기능 ... 9 1-1-3. 부품·소재의 핵심기술 및 요소기술 ... 9 1-1-4. 국내·외 제품·기술 현황 ... 10 1-1-5. 국내·외 시장 현황 ... 15 제1-2절 기술개발 목표 ... 18 제1-3절 기술개발 내용 ... 20제2장 본 론 ... 24 제2-1절 기술개발의 목표 및 내용 ... 24 2-1-1. 기술개발의 목표 달성여부 ... 24 2-1-2. 기술개발의 내용 수행실적 ... 25 2-1-3. 기술적 해결방법 수행실적 ... 44 2-1-4. 기술개발의 내용에 대한 보호대책 수행실적 ... 45 2-1-5. 수요기업과의 협력방안 수행실적 ... 45 2-1-6. 정량적 목표에 대한 공인시험기관의 공인시험 결과 ... 45 2-1-7. 산업재산권 출원·등록 및 논문 게재·발표 ... 46 제2-2절 수행주체별 담당내용 및 협력 ... 46 2-2-1. 수행주체별 담당내용 수행실적 ... 46 2-2-2. 수행주체별 협력 수행실적 ... 46 2-2-3. 수행주체별 인력 및 연구기자재․시설의 투입 실적 ... 47 제2-3절 기술개발 추진일정 준수여부 ... 47제3장 결론 ... 49부록 ... 50끝페이지 ... 65