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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-12 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201300029738 |
과제고유번호 | 1415106346 |
사업명 | 한국전기연구원 |
DB 구축일자 | 2013-10-05 |
키워드 | 나노.마이크로.금형.원통형.플라즈마 공정장비.nano.micro.mold.cylindrical.plasma system. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201300029738 |
2단계 1,2차년도 연구 결과를 정리하면 아래와 같다
1) 본 과제는 나노/마이크로 금형 제작 기술의 개발 및 상용화에 관련된 연구를 수행하였으며 크게 평판형 금형과 원통형 금형으로 나누어 진행하였다.
2) 평판형은 아래와 같은 연구를 수행하였다.
- 23인치 평판형 스탬프를 제작할 수 있는 공정시스템을 구축하고, 노광 공정 안정화에 관한 연구를 수행하였다.
3) 원통형은 아래와 같은 연구를 수행하였다.
- 원통 금형 소재의 표면을 나노 노광이 가능한 수준까지 연마하는 공정을 개발하고 실제 노광에 적용이
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