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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
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연구책임자 | 김호섭 |
참여연구자 | 오상수 , 하동우 , 하홍수 , 고락길 , 민창훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
과제관리전문기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
등록번호 | TRKO201300029768 |
과제고유번호 | 1415121540 |
사업명 | 한국전기연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2013-09-28 |
키워드 | 동시증발법.열증발증착법.대면적증착.인덕션가열기.조성비 균일.evaporation.thermal evaporation.large area deposition.induction heating.composition homogeniety. |
Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
가. 신개념 증착법 개발을 위한 도가니 제작
1) 액화부 기화부 일체형 도가니 제작
2) 액화부 기화부 분리형 도가니 제작
나. 신개념 증착법 성능 측정
1) 시간 경과에 따른 조성비 균일도 조사
2) 대면적 기판에서 조성비 균일도 조사
Ⅲ. Contents and Range of the R&D
◈ Fabrication of crucible for the new conceptual deposition method
‧ Fabrication of crucible with one body of liquefaction part and gasification part
‧ Fabrication of crucible divided by liquefaction part and gasification part
◈ Evaluation of capacity of
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