초록 ▼

핵심기술
○다성분계 비정질 합금계를 이용한 고인성 스퍼터링 타겟 제조기술 개발
○비정질 박막 합성기술
개발의 목표
○고내식 금속 글래스 형성 능력을 갖고, 미세한 평형 응고조직을 갖는 결정화된 다성분 합금타겟을 이용하여 모물질 타겟조성과 근접하고, 균일한 성분 분포 그리고 비평형 비정질구조를 갖는 고내식 금속글래스 PVD박막 합성기술 개발.
○ 모물질 타겟 내열온도 (>700℃, DC power 1000W이상), 박막성분균일성(<5%,GDOES), 박막구조(비정질,HRTEM), 박막내식성(벌크대비 동등)<

핵심기술
○다성분계 비정질 합금계를 이용한 고인성 스퍼터링 타겟 제조기술 개발
○비정질 박막 합성기술
개발의 목표
○고내식 금속 글래스 형성 능력을 갖고, 미세한 평형 응고조직을 갖는 결정화된 다성분 합금타겟을 이용하여 모물질 타겟조성과 근접하고, 균일한 성분 분포 그리고 비평형 비정질구조를 갖는 고내식 금속글래스 PVD박막 합성기술 개발.
○ 모물질 타겟 내열온도 (>700℃, DC power 1000W이상), 박막성분균일성(<5%,GDOES), 박막구조(비정질,HRTEM), 박막내식성(벌크대비 동등)
개발내용 및 결과
○Zr-Cu, Zr-Ti-Cu, Zr-Cu-Ni, Zr-Ti-Cu-Ni계 합금의 조성비에 따른 GFA, 평형응고조직, 강도특성에 미치는 영향 조사연구
○ Cu mold casting 주조공정에 의한 미세조직에 미치는 급냉효과 조사 연구
○ 주조합금타겟의 미세조직 및 GFA가 스퍼터링 박막의 조성균일성 및 구조에 미치는 영향 조사 연구
○ Mo, Nb등 고융점 첨가원소에 의한 고내식 벌크 금속 글래스 합금기술 연구
○ High corrosion protection 금속 글래스 박막 합성 기술 확립

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 연구보고서 ... 2
• 제출문 ... 3
• 기관주요사업 요약서(초록) ... 4
• 목차 ... 7
• 제 1 장 서론 ... 8
• 제 1 절 개발기술의 필요성 및 기술개발 시 기술적.경제적 파급 효과 ... 8
• 1. 연구개발의 필요성 및 기술적, 사회경제적 중요성 ... 8
• 2. 현기술상태의 취약성 ... 9
• 3. 산업기술 TRM과의 연관성 ... 9
• 제 2 절 국내.외 관련 기술의 현황 ... 10
• 1. 시장규모 및 성격 ... 10
• 2. 기술도입 가능성 및 기술료(Royalty) ... 11
• 3. 산업체 참여시기 및 방법 ... 11
• 4. 국내외 기술개발 동향 ... 12
• 5. 해외 연구개발 실적 ... 14
• 제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 16
• 제 1 절 당해년도 목표 및 평가 방법 ... 16
• 1. 연구개발의 최종목표 ... 16
• 2. 연구개발 목표의 성격 ... 16
• 3. 당해연도 목표 및 평가 방법 ... 17
• 제 2 절 당해년도 개발 내용 및 개발 범위 ... 17
• 제 3 장 결과 및 향후 계획 ... 18
• 제 1 절 연구개발 추진 체계 ... 18
• 1. 연구개발 추진 전략 ... 18
• 2. 연구개발 추진 체계 ... 20
• 3. 연구수행 편성도 ... 20
• 제 2 절 당해년도 연구개발 결과 ... 21
• 1. 당해년도 연구개발 추진 일정 및 달성도 ... 21
• 2. 당해연도 연구개발 추진 실적 ... 22
• 제 3 절 기대효과 및 사업화 계획 ... 38
• 1. 기술적 측면 ... 39
• 2. 경제.산업적 측면 ... 40
• 3. 활용방안 ... 42
• 부록 ... 43
• 1. 과제 유형적 실적물 ... 43