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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인하대학교 산학협력단 InHa University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-04 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 Ministry of Education and Science Technology(MEST) |
등록번호 | TRKO201300035385 |
과제고유번호 | 1345174448 |
사업명 | 일반연구자지원 |
DB 구축일자 | 2013-12-21 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201300035385 |
본 연구에서는 마이크로 머시닝 기술을 이용하여 마이크로 자가발전기 시스템 모듈을 집적화 하였다. 외부환경에서 발생되는 다양한 주파수 영역의 진동을 전력으로 변환할 수 있는 고효율 자가발전기의 시스템 온 패키지를 구현하였다. 그 결과 시스템 모듈의 설계 및 공정의 최적화로 집적화된 모듈의 크기를 5×5×2cm의 소형화를 가능하게 하고, 액츄에이터를 통해 발전되는 전력량을 0.01~10KHz의 동작주파수에서 350 uW/cm2을 구현하였다. 개발된 기술은 세부 공정 개선 및 성능 조율을 통하여 최종적인 시스템 모듈의 집적화를 구현함으로
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