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부품·소재 내플라즈마성 평가용 리모트 플라즈마 기술개발
Remote-plasma technology for development of reliability test equipment for plasma-resistive materials/parts 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 송영훈
참여연구자 이재욱 , 허민 , 강우석 , 김동주
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2014-01
과제시작연도 2013
주관부처 미래창조과학부
KA
사업 관리 기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
등록번호 TRKO201400003496
과제고유번호 1711009088
사업명 한국기계연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2014-05-07
키워드 내플라즈마성.장비/부품/소재 신뢰성.리모트 플라즈마.세라믹/아노다이징 코팅.가속수명평가.plasma-resistive characteristics.equipment/parts/materials reliability.remote plasma.ceramic/anodizing coating.lifetime test.

초록 ▼

반도체/디스플레이 등 첨단소자 제조의 대면적화 및 미세화에 따라 극한 플라즈마 공정조건내의 제조장비 신뢰성이 차세대 장비개발의 핵심 이슈로 강조되고 있다. 본 과제는 국내 장비업체의 경쟁력 강화를 위해 부품소재의 내구성 평가를 위한 내플라즈마성 평가시스템을 구축하고 관련 IP 전략 수립 및 국내 부품소재 업체와의 네트워크 형성을 최종 목표로 수행되었다. 평가효율이 개선되고 가속평가 특성이 강화된 독자적인 내플라즈마성 평가 시스템을 구축했으며, 리모트 플라즈마에 대한 IP 분석 및 전략수립을 수립하였다. 연·산 공동연구 및 평가시스템

Abstract ▼

Ⅳ. Results
o Development of reliability test equipment
- Establishment of improved test equipment based on remote-plasma technology
o Planning IP strategy and organizing consortium
- Planning IP strategy based on the IP analysis on international patents
- Organizing research consortiu

목차 Contents

  • 표 지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 초록 ... 3
  • 요 약 문 ... 4
  • S U M M A R Y ... 5
  • C O N T E N T S ... 6
  • 목 차 ... 7
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 8
  • 제1절 기술적 측면 ... 8
  • 제2절 경제/사회적 측면 ... 9
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 10
  • 제1절 국내외 주요 연구개발 실적 및 현 기술의 취약성 ... 10
  • 제2절 앞으로의 전망 ... 11
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 12
  • 제1절 내플라즈마성 평가시스템 구축 ... 12
  • 제2절 IP 분석 및 전략수립 ... 13
  • 제3절 관련기업 네트워크 구축을 위한 연구회 구성 및 운영 ... 14
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 15
  • 가. 연구개발 목표대비 실적 ... 15
  • 나. 관련분야에의 기여도 ... 15
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 16
  • 제 6 장 참고문헌 ... 17
  • 끝페이지 ... 18

표/그림 (7)

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참고문헌 (25)

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