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저전력 플라즈마 스크러버 최적화 및 scale up 기술개발
Optimization and scale up of low power plasma scrubber 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2014-01
과제시작연도 2013
주관부처 미래창조과학부
Ministry of Science, ICT and Future Planning
등록번호 TRKO201400003499
과제고유번호 1711009091
사업명 한국기계연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2014-05-07
키워드 과불화 화합물.플라즈마 스크러버.반도체/디스플레이.분해율.PFCs.plasma scrubber.semiconductor/display.DRE.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201400003499

초록 ▼

1. 연구개요
○ 반도체 또는 LCD 제조공정에서 발생하는 PFCs(과불화 화합물) 가스 처리용 플라즈마 스크러버 성능 최적화 및 상용화 기술개발
○ 플라즈마 전력사용량 최소화 및 현장 조건에 부합하는 음압운전 스크러버 기술개발 및 대용량 처리를 위한 scale-up 기술개발
2. 연구결과
○ 기준용량(200-300 lpm급) 스크러버 기술개발
- 스크러버 입·출력단 차압특성 개선
- 전력효율향상을 위한 설계최적화
○ 대용량(600 lpm급 이상) 스크러버 기술개발
○ 기준용량에 대한 SK

Abstract ▼

Ⅳ. Results
○ Optimization of standard scrubber (200-300 lpm scale)
- Reduction of positive pressure condition between in/out port
- Optimization design for higher efficiency
○ Development of large scale scrubber (600 lpm)
○ Qualification of developed scrubber in commercialization test

목차 Contents

  • 표 지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 초록 ... 3
  • 요 약 문 ... 4
  • S U M M A R Y ... 6
  • C O N T E N T S ... 8
  • 목 차 ... 9
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 10
  • 제 1 절 연구개발의 필요성 ... 10
  • 제 2 절 연구개발의 목적 및 범위 ... 13
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 14
  • 제 1 절 국내ㆍ외 타 연구기관 ... 14
  • 제 2 절 본 연구기관 ... 15
  • 제 3 절 앞으로의 시장 전망 ... 18
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 20
  • 제 1 절 연구개발 개요 ... 20
  • 제 2 절 실험장치 구축 ... 21
  • 제 3 절 (기준용량) 스크러버 현장 적용성 개선 ... 23
  • 제 4 절 (기준용량) 스크러버 전력효율향상 기술개발 ... 37
  • 제 5 절 대용량 스크러버 기술개발 ... 51
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 58
  • 제 1 절 목표달성도 ... 58
  • 제 2 절 관련분야에의 기여도 ... 58
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 60
  • 제 6 장 참고문헌 ... 61
  • 끝페이지 ... 62

표/그림 (52)

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참고문헌 (25)

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