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NTIS 바로가기주관연구기관 | 쎄믹스 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400004396 |
과제고유번호 | 1425067211 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발지원 |
DB 구축일자 | 2014-05-10 |
키워드 | 웨이퍼프로버.프로빙 포스.평탄 보정.피에조.센서. |
개발목표
계획
반도체 프로버용 포스틸트 개발
실적
반도체 프로버용 포스틸트 개발
정량적 목표항목 및 달성도
1. 측정 분해능(㎏) 2.5 / 2. 응답속도(㎳) 50 / 3. 변위계 강성(㎏/㎛) / 4. 반복정밀도(㎏) 1,000 / 5. 보상영역(㎛) ±30 / 6. 분해능(㎛) 3 / 7. 강성(㎏/㎛) 2 / 8. 반복정밀도(㎛) ±3 / 9.액추에이터 발생력(N) 10,000 이상 / 10.액추에이터 스트로크(㎛) 50
기대효과
메모리 반도체 테스트 공정의 추이에 따르면 프로브
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