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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)리빙케어 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-05 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400004709 |
과제고유번호 | 1425069947 |
사업명 | 창업성장기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2014-05-10 |
키워드 | 열전반도체.웨이퍼.다이싱.척.절연금속기판. |
□ 개발목표
계 획
열전반도체를 이용한 반도체 웨이퍼 다이싱용 냉각척(Cold Chuck) 시스템 개발
실 적
정밀온도제어가 가능한 웨이퍼 다이싱용 열전유닛(Cold-Chuck) 개발 및 2건의 특허 등록
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 온도 정밀도 온도 정밀도 ±0.1℃ 이상 구현 / 2. 온도변화속도 5℃/min 구현 / 3. 운전온도 최대 -17℃ 이상 구현(at RT) / 4. 신뢰도(내부저항 변화) ±3% 이내 / 5. 성능지수 2.8 10-3/K 이상 구현
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