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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)세미코아 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-08 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400013166 |
과제고유번호 | 1425073749 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2014-09-20 |
키워드 | 엘이디.사파이어웨이퍼.아이씨피.플라즈마.식각. |
□ 개발목표
계획
식각 공정시에 필요한 Wafer Jig에 LED Wafer Loading의 획기적인 생산 수율 향상이 가능한 LED Wafer Auto Loading System 개발
실적
LED Wafer Auto Loading System 개발 완료
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1.청정도 :합격(ICP Chamber내 측정)
2.소음 :합격(Wafer Auto Loading)
3.진동 :합격(Wafer Auto Loading)
4.이송오차 :합격(Wafer Auto Loadi
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