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NTIS 바로가기주관연구기관 | 금오공과대학교 Kumoh National Institute of Technology |
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연구책임자 | 윤성호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-05 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100014562 |
과제고유번호 | 1425065983 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
LED 제조 라인의 초기 공정인 Wafer 조립/검사 라인에서 타 공정으로의 이송시 필수적으로 요구되는 정밀 위치제어에 의한 공급 기능을 안정적으로 수행할 수 있는 Wafer 카세트, Robot Unit, Loading Port를 이용한 LED용 Wafer 정밀 공급 시스템 장비를 개발하고자 함.
2. 개발내용 및 결과
본 연구에서는 Wafer 카세트, Robot Unit, Loading Port를 이용하여 정밀 위치결정에 의한 공급기능을 안정적으로 수행하는 LED용 Wafer 정밀 공급 시스템 장비를
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