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NTIS 바로가기주관연구기관 | 이플러스(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-09 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400013954 |
과제고유번호 | 1425076407 |
사업명 | 창업성장-건강관리연계 |
DB 구축일자 | 2014-09-20 |
키워드 | 유도결합플라즈마.임피던스정합.스미스차트.플라즈마소스.분광분석기. |
개발목표
계 획
항 목
실 적
달성치
정량적 목표항목 및 달성도
1. RF generator 동작 주파수 435[MHz] ± 2%, 2. RF generator 출력 레벨 100[mW] 이상, 3. Ignition 전압 900[Vp-p] 이상, 4. Plasma Ignition 압력범위 3x10-3~10 [Torr], 5. Plasma상태 유지범위 1x10-3~30 [Torr]
기대효과
플라즈마 발생장치의 확장된 10[Torr]에서 3[mTorr]의
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