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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에스엔유프리시젼 |
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연구책임자 | 유운선 |
참여연구자 | 김정환 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-01 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201400014451 |
과제고유번호 | 1425070481 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발지원 |
DB 구축일자 | 2014-09-20 |
키워드 | 박막봉지.유기막.증착.OLED.TFE. |
개발목표
계 획
G5.5 TFE monomer deposition system 개발
실 적
G5.5 TFE monomer deposition system 개발 완료
정량적 목표항목 및 달성도
1. 기판크기; 기판 크기 ≥5.5G
2. 투과율; 투과율 ≥90%
3. Alignment; Alignment ≤±5㎛
4. Tact Time; Tact Time 331sec/layer
5. 막두께 불균일도; 막두께 불균일도 ≤5%
6. 증착속도; 증착속도 10506Åm/min
기
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