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플렉서블 디스플레이용 서브마이크론 두께 봉지를 위한 유기박막 증착 기술과 봉지 장비 기술 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 에이피시스템(주)
연구책임자 이재승
참여연구자 조성민 , 우재익 , 배기선
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2019-08
과제시작연도 2018
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO202200006578
과제고유번호 1415157093
사업명 신성장동력장비경쟁력강화(R&D)
DB 구축일자 2022-08-19
키워드 유기발광소자.박막봉지.투습도.원자층.다층구조.

초록 ▼

3. 개발결과 요약

최종목표
ㅇ 6세대 2분할 플렉서블 AMOLED 박막봉지 양산 시스템 및 공정 기술 개발

개발내용 및 결과
ㅇ 플렉서블 디스플레이용 대면적 박막봉지 장비 및 공정기술 개발
- 6세대 2분할 플렉서블 OLED용 TFE 클러스터 시스템 구축완료
- 투습도 평가를 통한 고품위 박막 봉지막의 투습 특성 확보
- 단차 피복 특성 평가를 통한 유기막 증착 공정기술 확보
- 굽힘 특성 평가를 통한 박막봉지막의 신뢰성 확보

기술개발 배경
ㅇ 최근의 박막

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 최종보고서 초록 ... 3
  • 기술개발사업 주요 연구성과 ... 6
  • 목차 ... 10
  • 제 1 장 서론 ... 11
  • 제 1 절 과제의 개요 ... 11
  • 제 2 장 과제 수행의 내용 및 결과 ... 16
  • 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 16
  • 제 2 절 단계 목표 및 평가 방법 ... 20
  • 제 3 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 21
  • 제 4 절 수행 결과의 보안등급 ... 42
  • 제 5 절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리현황 ... 43
  • 제 3 장 결과 ... 44
  • 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 44
  • 1. 연구개발 추진 일정 ... 44
  • 2. 연구개발 추진 실적 ... 47
  • 3. 기술개발 결과의 성과 ... 146
  • 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 152
  • 제 3 절 고용 창출 효과 ... 156
  • 제 4 절 자체보안관리진단표 ... 157
  • 제 4 장 사업화 계획 ... 158
  • 제 1 절 시장 현황 및 전망 ... 158
  • 제 2 절 사업화 계획 ... 162
  • 제 3 절 향후 추가 기술 개발 계획 ... 164
  • 끝페이지 ... 166

참고문헌 (25)

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