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NTIS 바로가기주관연구기관 | 시냅스이미징(주) |
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연구책임자 | 김재선 |
참여연구자 | 권택준 , IGOR , 형진욱 , 유주상 , 고진욱 , 김창식 , 한상준 , 김의석 , 김관호 , 문유현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-01 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201400014462 |
과제고유번호 | 1425076343 |
사업명 | 민관공동투자기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2014-09-20 |
키워드 | 3차원.공초점.기판.범프.검사.3D.Confocal.Substrate.Bump.Inspection. |
개발목표
계 획
◦ Spectrum 공초점 기술을 이용하여 대면적, 고분해, 고속 검사가 가능한 다중의 공초점 광학계 및 관련 요소기술을 개발하고, 이를 적용하여 지름 60um 이상의 Flat/Round Bump의 3차원 정보를 측정오차는 물론 속도 저하없이 검사가 가능한 설비개발.
실 적
◦ Pinhole mask array를 갖는 Spectrum 공초점 기술을 이용하여 대면적, 고분해, 고속 검사가 가능한 3D 측정 광학계 및 관련 요소기술을 개발하고, 이를 적용하여 지름 60um 이상의 Flat/Round
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