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NTIS 바로가기주관연구기관 | 위드로봇(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-05 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400014656 |
과제고유번호 | 1425071892 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2014-10-04 |
키워드 | 태양전지.웨이퍼.외관 검사기.GPU. |
ㅁ개발목표
태양광용 웨이퍼의 외관 검사 기술 개발
ㅁ정량적 목표항목 및 달성도
1. geometry 측정 정밀도 : <80㎛ / 2. Edge defect(chip)검출 : >80㎛ / 3.stain 검출 : >0.2x0.2mm / 4.Crack(0.3~1mm) 검출 : 86.7% / 5.Crack(>1mm) 검출 : 96.8% / 6.검출 속도 : 4072WPH
ㅁ기대효과
태양광 웨이퍼 검사기 국산화 및 수출 증대
ㅁ적용분야
태양전지 제조 공정
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