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Kafe 바로가기주관연구기관 | (주)쎄미시스코 |
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연구책임자 | 우봉주 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-06 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800039551 |
과제고유번호 | 1415140239 |
사업명 | 글로벌전문기술개발(주력및신산업) |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | 필름형 유연기판 검사.불균일도.투과율.이물 검사.롤투롤시스템 유연기판 두께측정 장비.버블(Bubble) 검사기. |
□ 핵심기술
• 필름형 유연기판의 실시간 불균일도 / 이물 / 투과율 검사 장비
• Rigid Carrier Glass를 사용한 유연기판 두께측정, 버블검사
□ 최종목표
• 80 m/min 의 속도로 이송중인 필름형 유연기판 검사 장비 개발
1) 불균일도 검사 장비 개발
2) 이물 검사 장비 개발
3) 투과율 측정 장비 개발
• Rigid Carrier Glass를 사용한 유연기판 검사장비 개발
4) 유연기판 두께 측정 장비 개발
5) 버블 검사장비 개발
□ 핵심기술
• 필름형 유연기판의 실시간 불균일도 / 이물 / 투과율 검사 장비
• Rigid Carrier Glass를 사용한 유연기판 두께측정, 버블검사
□ 최종목표
• 80 m/min 의 속도로 이송중인 필름형 유연기판 검사 장비 개발
1) 불균일도 검사 장비 개발
2) 이물 검사 장비 개발
3) 투과율 측정 장비 개발
• Rigid Carrier Glass를 사용한 유연기판 검사장비 개발
4) 유연기판 두께 측정 장비 개발
5) 버블 검사장비 개발
□ 개발내용 및 결과
• 80 m/min 속도로 이송중인 필름형 유연기판에 대한 불균일도,이물,투과율 검사
1) 불균일도 검사 장비 개발
- 유연기판의 광학적 특성을 이용한 실시간 불균일도 검사 장비 개발
- 1개의 센서로 여러 포인트에 대한 불균일도 검사가 가능하며,여러 유연기판에 대해서도 적용이 가능한 불균일도 검사장비
2) 이물 검사 장비 개발
- 고속 대응이 가능한 고분해능 광학계 개발
- 대용량 이미지 고속처리 알고리즘 개발
- 이물 분류 알고리즘 개발
3) 투과율 측정 장비 개발
- 실시간 광보상 멀티포인트 투과율 측정 기술 개발
- 레포트, 레시피, 데이터 시뮬레이션 등의 User Friendly한 UI 구성 및 프로그램 개발
• Rigid Carrier Glass를 사용한 유연기판 검사장비 개발
4) 유연기판 두께 측정장비 개발
- 반사율을 고속으로 측정하여 두께를 측정하는 장비
- 다층 후막 두께측정 장비 개발 , FFT알고리즘 개발
5) 유연기판 버블 검사장비 개발
- 버블 검사에 특화된 광학계구조 개발
- 버블 검사 알고리즘 개발
□ 기술개발 배경
• CRT,LCD에 이어서 플렉서블 디스플레이가 시장에서 각광받고 있으며, 플렉서블 디스플레이 구현에서 중요한 핵심 기술은 유연 기판의 신뢰성 확보에 있음.
• Rigid 기반 유연기판을 이용한 시스템에서 기존의 리소그래피(TFT형성)공정과 진공 증착(C/F형성)공정보다 원가를 줄이기 위한 롤투롤시스템을 사용한 공정으로 패널을 제조하기 위해 시장 및 기술이 진보하고 있음. 이에 롤투롤시스템에서의 필름형 유연기판 검사에 대한 고객사들의 니즈가 요구되고 있음.
• 아직까지 여러 공정상의 기술적 한계로 인해 Rigid Glass를 활용한 유연기판을 제조하고 있으며, 이때 여러 가지 공정상의 이슈가 발생하고 있는 실정임.
□ 핵심개발 기술의 의의
• 80 m/min 속도로 이송중인 필름형 유연기판에 대한 불균일도,이물,투과율 검사
- 당사로선 기존의 컨베이어 시스템에서의 검사기술을 한단계 업그레이드시켜 롤투롤 환경시스템에서의 다양한 검사기술을 개발할 수 있게 된 차세대 핵심요소 기술임.
- 신뢰성 확보가 중요한 필름형 유연기판에 대한 검사를 고객사에게 통합적으로 솔루션을 제공하기 때문에 제조 공정상의 이슈관리,유연기판 품질 관리 등의 장점이 존재하는 통합 검사기술임.
• Rigid Carrier Glass를 사용한 유연기판 검사장비 개발
- LCD 시장에서의 안정적인 검사시장 점유(회사 기존제품)에 이어서 점점 커가고 있는 새로운 플렉서블 디스플레이 OLED 검사 장비시장에서도 점유율 확대가 가능하리라 생각되는 핵심기술임.
- 다층 후막 두께 측정장비의 경우, 기존 두께 측정장비(C/F법)와는 차별화된 방식으로 다층막에 대한 두께를 측정하는 기술이며,이 기술을 적용한 장비는 검사장비만을 판매해온 자사의 제품스펙트럼을 넓혀주고 디스플레이 “측정”장비 시장으로의 진출계기가 될 수 있는 장비임.
- 반사율, 광학적 해석 등의 막에 대한 광학 기술과 FFT알고리즘 등의 신호처리 기술은 추후 응용분야가 넓은 원천기술임.
□ 적용 분야
• 필름형 유연기판을 기반으로 한 플렉서블 디스플레이 시장 및 인쇄전자 시장(디스플레이 패널, OLED조명, 태양전지, RFID 등)
• 플렉서블 디스플레이 OLED 검사장비 시장
( 출처: 최종보고서 초록 - 3. 개발결과 요약 4p )
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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