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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)세미즈 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-10 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201400014926 |
과제고유번호 | 1425075772 |
사업명 | 창업성장-첫걸음기업지원사업 |
DB 구축일자 | 2014-10-04 |
키워드 | 식각장치.미러링.Dry Etcher.Mirroring. |
개발목표
계 획
고객사 장비와의 Interface 및 통신사양이 충족된 200mm Dry Etcher용 미러링 모듈 제품개발
실 적
200mm Dry Etcher용 미러링 모듈 제품개발 완료
정량적 목표항목 및 달성도
1. 미러링 보드시험 정상동작 / 2. 미러링 모듈시험 50회 / 3. Ripple전압 100mV이하 / 4. 내전압시험 2kV이상 / 5. 정전기시험 2kV이상
기대효과
◦ 반도체 Brand 장비 전문회사로 도약
◦ 반도체 장비 및 핵심부품 국산화에 기여
◦ 국·
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