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NTIS 바로가기주관연구기관 | 가천대학교 Gachon University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-05 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 한국산학연협회 Korea Association of University, Research Institute and Industry |
등록번호 | TRKO201400027365 |
과제고유번호 | 1425075210 |
사업명 | 산학연 공동기술개발 지역사업 |
DB 구축일자 | 2014-11-14 |
2. 개발내용 및 결과
1) 자기흡인력을 상쇄하고 고효율, 고추력을 갖는 비강제냉각 방식의 코어타입 자기회로 및 리니어모터 개발
2) 코어타입 리니어모터를 적용한 볼베어링 가이드 구조의 무부상형 리니어모터 스테이지 개발
3) 정밀제어 제어알고리즘 적용을 통한 5nm 미만 초정밀 위치정밀도를 갖는 리니어모터 스테이지 개발 완료
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