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NTIS 바로가기주관연구기관 | 티파인 InHa University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-06 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400027734 |
과제고유번호 | 1425074700 |
사업명 | 산학연 공동기술개발 지역사업 |
DB 구축일자 | 2014-11-17 |
2. 개발내용 및 결과
진공 용해 및 세라믹 정밀주조공정을 적용하여 스퍼터링 타겟용 Ni-(40wt%Cr) 합금소재를 제조하였으며, 이에 대한 열처리 및 표면 형상 가공을 실시하여 본 과제의 목적에 부합하는 스퍼터링 타겟을 개발하는데 성공하였다. 열처리를 통한 시편의 입자크기 및 평균크기에 대한 편차 특성에 대하여 조사한 결과, 1000℃에서 한시간 동안 진공열처리를 한 후 공냉시킨 시편의 경우 기공률 < 0.01%, 입자크기 50.7㎛, 불균일도 11.2%의 미세하고 균일한 입자를 가진 조직을 얻을 수 있었다
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