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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500012036 |
과제고유번호 | 1425069459 |
사업명 | 첨단장비 활용 기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-07-25 |
키워드 | 반도체/LCD.오염가스 처리.진공 플라즈마.진공펌프 수명향상.분해율 향상. |
□개발목표
계획 :
진공펌프 수명연장을 위한 진공 플라즈마 기술개발
실적 :
2종 플라즈마 반응기구조 제시 방전안정성/분해율/신뢰성 검증
□정량적 목표항목 및 달성도
1. 방전안정성
계획 : 0.1-10 Torr
실적 : 0.1-10 Torr 영역에서 방전안정성 확인 (전류/전압/image)
2. 플라즈마 직경
계획 : 15 cm
실적 : 반응기 직경 20 cm까지 플라즈마 발생 (image/시제품)
3. 오염가스 분
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