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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)템네스트 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-05 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500012351 |
과제고유번호 | 1425070316 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | 복합재료.용사.세라믹 코팅.정전척.박막. |
□개발목표
계 획
1. 6중막 세라믹용사코팅 450mm Tunable ESC
2. 중온도(250도C)대의 4중막CVD 300mm ESC
실 적
6중막 세라믹용사코팅
450mm Tunable ESC
□세부 개발내용 및 목표치
1. 웨이퍼의 온도 제어성능(시각공정):계획(0~80℃),실적(0~80℃)
2. 온도균일도:계획( ±1.5℃이하),실적( ±1.5℃ )
3. RF인가가능 전력:계획( 5KW이상),실적( 6KW )
4. 전압:계획( 2,500V이하),실적( 1,000~1
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