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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)제이하라 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-07 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500012725 |
과제고유번호 | 1425079612 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | High Efficiency.Silicon.Solar Cell.Al2O3.Passivation. |
□개발목표
계 획
◦ 대면적에서 고속으로 균일한 박막 증착을 위한 60 MHz VHF PECVD용 플라즈마 소스 개발
◦ 60 MHz VHF 플라즈마 소스를 활용한 Al2O3 후면 패시베이션 박막 증착 기술 개발
◦ 고효율 결정질 실리콘 태양전지 제조용 60 MHz VHF PECVD 양산 시스템 적용 기술 개발
실 적
◦ 대면적에서 고속으로 균일한 박막 증착을 위한 60 MHz VHF PECVD용 플라즈마 소스 개발
◦ 60 MHz VHF 플라즈마 소스를
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