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보고서 상세정보

저가형 고감도 열상용 마이크로볼로미터 적외선 센서 개발

과제명 저가형 고감도 열상용 마이크로볼로미터 적외선 센서 개발
주관연구기관 한국광기술원
Korea Photonics Technology Institute
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2014-07
과제시작년도 2013
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201500012851
과제고유번호 1425080309
사업명 중소기업융복합기술개발사업
DB 구축일자 2015-08-01
키워드 마이크로볼로미터.신호취득회로.진공패키지.반응도.온도분해능.
초록

□개발목표
계 획
8-12um 파장의 인체감지를 위한 고감도 마이크로볼로미터 적외선 검출기 개발. 소자픽셀포멧은 32x32 또는 64x64 어레이 소자, ROIC 개발, 웨이퍼레벨 패키징 공정기술 및 어레이 센서의 특성평가...