초록 ▼

□개발목표
계 획
8-12um 파장의 인체감지를 위한 고감도 마이크로볼로미터 적외선 검출기 개발. 소자픽셀포멧은 32x32 또는 64x64 어레이 소자, ROIC 개발, 웨이퍼레벨 패키징 공정기술 및 어레이 센서의 특성평가 기술 개발
실 적
8-12um 파장의 인체감지를 위한 웨이퍼레벨 진공패키징을 적용한 32x32, 80x80 어레이 소자 및 ROIC를 개발함
□정량적 목표항목 및 달성도
1. 센서어레이 format:계획(64x64픽셀),실적(-1차년도: 32x32, 2차년도: 80x80)

□개발목표
계 획
8-12um 파장의 인체감지를 위한 고감도 마이크로볼로미터 적외선 검출기 개발. 소자픽셀포멧은 32x32 또는 64x64 어레이 소자, ROIC 개발, 웨이퍼레벨 패키징 공정기술 및 어레이 센서의 특성평가 기술 개발
실 적
8-12um 파장의 인체감지를 위한 웨이퍼레벨 진공패키징을 적용한 32x32, 80x80 어레이 소자 및 ROIC를 개발함
□정량적 목표항목 및 달성도
1. 센서어레이 format:계획(64x64픽셀),실적(-1차년도: 32x32, 2차년도: 80x80)
2. pixel size:계획(35x35um²이하),실적(- 80x80 픽셀에서 35um pixel크기로 소자 제작)
3. 온도저항계수(TCR):계획( -2.0%/K이상),실적( - TCR –2.66%/K 달성)
4. 탐지도(cmHz^1/2/W):계획( 5x108 이상),실적( - 탐지도 : 4.22x10⁸ 달성)
5. 반응도:계획(10 mV/K이상),실적(- 응답도: 23.2 mV/K 달성 )
6. NETD :계획(100mK 이하),실적( - 85 mK으로 목표달성)
7. 센서진공수명:계획( 10년 이상),실적( - 11.7년으로 목표달성)
□기대효과
- 인체감지용 적외선 센서의 제품 상용화, 타 센서(써모파일 등)에 비해 고해상도, 고감도, 급반응 속도의 장점 보유
- 웨이퍼레벨 진공패키징 기술로 소형화로 스마트 기기 또는 협공간에 설치하여 사물인터넷등의 활용범위로 확대가능
□적용분야
- 32x32, 80x80 어레이 센서는 전기, 가스자동차, 가전, 보안 등의 산업분야
- 화재감지, 사람계수, 환자모니터링, 사물인터넷, 스마트 기기 등 플랫폼관련기업 및 국내외 카메라모듈 기업, 이동통신 기업 등