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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)태성기연 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-04 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201500013003 |
과제고유번호 | 1425078988 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
제1장 개발기술의 개요
제1절 기술개발 과제의 개요
1. 개발 개요
기존 FAB에 적용되던 다양한 Glass 이송 장치에서 대평판 이송을 위하여 수평적 컨베이어방식으로 전환이 이루어질 경우 기본적으로 구동롤러를 이용하여 Glass와 접촉한 상태로 이송이 이루어졌던 부분이 대형화에 따라 롤러와 글라스간의 많은 접촉점의 발생이 나타나게 되고 마찰면에 의한 글라스 배면의 스크래치, 오염 및 이물 발생 등의 잠재위험 요소가 크게 증가된다.따라서 상위 세대 급의 LCD 제조를 위한 대형 공정 장비의 개발은 큰 원판 글라스 적
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