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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)마스코 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-03 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500014540 |
과제고유번호 | 1425076144 |
사업명 | 제조현장녹색화기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-09-26 |
키워드 | 전해연마.고청정.반도체.튜브.수명. |
□ 개발목표
계 획
반도체 배관용 전해연마 공정액 수명 연장 기술 개발.
실 적
반도체 배관용 전해연마 공정액 수명 연장 기술 개발.
□ 정량적 목표 항목 및 달성도
1. 용출 Fe 이온(mg/d㎡) : 계획(2.48이하), 실적(1.05)
2. 폐산 발생량(kg/㎡) : 계획(13이하), 실적(12.97)
3. Ra(표면조도, μin) : 계획(10 이하), 실적(3.46)
4. 표면성분비(Cr/Fe) : 계획(1.5이상), 실적(1.97)
5. 산화층 두께(Å) : 계
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