최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)쎄미시스코 |
---|---|
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-01 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201500014752 |
과제고유번호 | 1425083351 |
사업명 | 구매조건부신제품개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-09-26 |
키워드 | 잔류가스측정기.이온원.사중극자.검출기.RF전원.RGA.Ion Source.Quadrupole.Detector.RF Power. |
□ 개발목표:
계 획:
수요처 Sputter 장비의 Target별로 사용되는 Process Gas에 따른 Air Leak(O2 , N2 ) 검출과 PCW(Power Cooling Water)의 Leak를 검출하기 위해 최고 압력 1 [Pa], 최소 부분압 1x10-7 [Pa]에 적합한 소형 잔류 Gas 측정기가 필요 된다.
최종 개발 목표는 최고압력 1 [Pa]에서 분해능 1 [amu] 이하, 질량범위 50[amu], 최소부분압 1x10-7<
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.