초록 ▼

□개발목표
계 획
Display/반도체 설비 Maker에 장착 할 수 있는 진공밸브 개발
실 적
성공
□정량적 목표항목 및 달성도
1. Leak Test:계획( 1x10^-10 cc/sec 이하),실적(성공)
2. Cycle Test:계획( ≥100,000 cycle 이상),실적( 성공)
3. 온도 Test:계획( ≥90℃이상),실적( 성공 )
□기대효과
1. 기존의 디스플레이/반도체 설비에서 사용되는 진공밸브는 실링부의 O-Ring이 플루오르 이온가스에 노출

□개발목표
계 획
Display/반도체 설비 Maker에 장착 할 수 있는 진공밸브 개발
실 적
성공
□정량적 목표항목 및 달성도
1. Leak Test:계획( 1x10^-10 cc/sec 이하),실적(성공)
2. Cycle Test:계획( ≥100,000 cycle 이상),실적( 성공)
3. 온도 Test:계획( ≥90℃이상),실적( 성공 )
□기대효과
1. 기존의 디스플레이/반도체 설비에서 사용되는 진공밸브는 실링부의 O-Ring이 플루오르 이온가스에 노출시 3개월~6개월주기로 교체해 주어야하는 불편함이 있는데 DVS 진공밸브는 실링부의 O-Ring이 직접적으로 노출되지 않는 이중진공 구조 밸브로 실링부의 O-Ring의 수명(Life Time)을 24개월까지 연장할 수 있도록 하여 설비의 가동율 향상 및 유지 보수 비용을 감소시킴.
□적용분야
디스플레이 장비 및 반도체 장비 분야에 적용 가능
현재(2014년8월) 디스플레이 라인에 적용중

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 중소기업 기술개발사업 최종보고서 ... 2
• 제출문 ... 3
• 요약서(초록) ... 4
• 목차 ... 5
• 제1장 개발 기술의 개요 ... 6
• 제1절 기술 개요 ... 6
• 제2장 개발목표 및 개발내용 ... 8
• 제1절 기술개발 목표 ... 8
• 제2절 세부 개발 내용 및 방법 ... 10
• 제3장 시험 성적서 ... 36
• 제4장 성과요약 및 기대효과 ... 41
• 제1절 성과 요약 및 기대 효과 ... 41
• 제2절 향후 계획 ... 41
• 부록 ... 43
• 국내 특허 등록 증서 ... 44
• 해외 특허 출원 자료(미국,중국,대만) ... 46
• 끝페이지 ... 176