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NTIS 바로가기주관연구기관 | 소프트에피 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-09 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500015734 |
과제고유번호 | 1425081105 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-10 |
키워드 | 반극성.질화갈륨.에피 웨이퍼.Semipolar.Template. |
□개발목표
계 획
저결함 고효율 반극성 질화갈륨 에피 웨이퍼 개발
실 적
양산 기술 개발 및 제품화성공
□정량적 목표항목 및 달성도
1. 결정특성 (arcsec):계획(< 300),실적( 291.6 )
2. 광학특성 (arb. unit):계획( > 100),실적( 106.2)
3. 표면특성 (nm):계획( < 2),실적( 1.6 )
4. 결함밀도 (#/cm2):계획( 5X108),실적( 3X108)
□기대효과
◦물리
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