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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에코텍코리아 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-05 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500016342 |
과제고유번호 | 1425070271 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2015-11-10 |
키워드 | 이트리아.소결.내플라즈마.고순도.냉간정수압성형.CIP. |
□ 개발목표
계 획
반도체 Etch 공정용 고순도 Y2O3 소재/제품 제조 기술개발(제품 크기 : 최대 Φ450 ㎜ 소재 개발)
실 적
반도체 Etch 공정용 고순도 Y2O3 소재/제품 제조 기술개발(제품 크기: 최대 Φ450 ㎜ 소재개발)
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 제품 크기 : 계획(450 ), 실적(φ480)
2. 밀도 : 계획(4.9 ), 실적(4.98)
3. 순도 : 계획(99.9 ), 실적(99.9)
4. 기공율 : 계획(<5 ), 실적(0.46)
5.
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