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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)토비스안양사업장 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-10 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
연구관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201500017141 |
과제고유번호 | 1425069841 |
사업명 | 구매조건부신제품개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-11-10 |
키워드 | Narrow Bezel.Fine Pattern process. |
□ 개발목표
계 획:
Touch window bezel부 pattern pitch 60um (Line/Space: 30um/30um)
실 적:
Touch window bezel부 pattern pitch 60um 달성 (Line/Space: 30um/30um)
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 선폭
계획 : 30/30
실적 : 30/30
2. Over Etch
계획 : < 10
실적 : < 7
3. Accuracy
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