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NTIS 바로가기주관연구기관 | 디바이스이엔지 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-12 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500017277 |
과제고유번호 | 1425070509 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발지원 |
DB 구축일자 | 2015-10-31 |
키워드 | 대면적.유기물.마스크.스트립.세정. |
□ 개발목표
계획
대면적 AMOLED용 원장 마스크 유기물 Strip 및 세정기술 개발
실 적
5.5G용 원장(무분할) 마스크 유기물 Strip 및 세정기술 개발
□ 정량적 목표 항목 및 달성도
1. 생산성(Lead Time) : 계획(10min), 실적(Process time < 10min)
2. Particle : 계획(< 100개), 실적(추후 평가 예정 (양산 미적용))
3. Water Mark : 계획(< 1%), 실적(0.1%)
4. 진공도달시간 : 계획(60min)
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