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NTIS 바로가기주관연구기관 | 이지스코(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-11 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201500017706 |
과제고유번호 | 1425070553 |
사업명 | 창업성장기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-11-10 |
키워드 | 정전척.유전체.비정질.유기발광.존슨-라벡. |
□개발목표
계 획
디스플레이용 글라스를 진공 또는 대기 중 낮은 전압에서 단위 면적당 14 gf/cm2이상의 충분한 정전 흡착력을 갖고 8KV에서도 절연파괴가 일어나지 않는 나노입자를 가진 250*250 mm 크기 이상의 아모포스 (비정질) 정전척 개발
실 적
대면적 정전척 개발 완료함( 250*250 mm 및 최대 453*340 mm)
□정량적 목표항목 및 달성도
평가 항목(1. 유전상수 @ 1 MHz),목표치( 4 이상 ),실적치(6.5 )
평가 항목(2. 파괴전압 @ mm ),목표치(8 K
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