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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 최기봉 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-01 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
사업 관리 기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
등록번호 | TRKO201600001690 |
과제고유번호 | 1711034599 |
DB 구축일자 | 2016-05-14 |
키워드 | 탄성힌지,병렬 메커니즘,힘전달메커니즘,변위증폭,스틱슬립구동Flexure hinge,Parallel mechanism,Force transfer mechanism,Displacement amplification,Stick-slip operation |
ㅇ 본 과제는 탁상용 TEM의 진공 챔버 내에 장착될 초소형 고정밀 중공구비 압전 구동 시료 스테이지를 개발하는 것이다.
ㅇ 시료의 미세 구동을 위한 초소형 압전 스테이지는 40 x 40 x10 mm3의 크기와, XYΘ의 3축을 가지며 전자빔의 투과를 위한 중공이 마련된 것이 특징이다.
ㅇ XY 스테이지는 탄성힌지 기반의 힘전달메커니즘에 의한 압전 소자의 변위증폭 메커니즘을 가진다.
ㅇ 회전 스테이지는 Stick-slip에 의한 탄성힌지 기반의 개선된 회전 메커니즘이 개발되었다.
ㅇ 개발된
This research is to develop a piezo-driven micro sample stage for the vacuum chamber of a desk-top TEM. A piezoelectric element is available in an environment for TEM, since it does not generate electromagnetic force which affects on an electron beam. In the stage, a mechanism is required to miniatu
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