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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)엘에스테크 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-05 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201600004977 |
과제고유번호 | 1425086632 |
사업명 | 창업성장기술개발 |
DB 구축일자 | 2016-08-20 |
키워드 | 자연산화막.다기능 로드포트.모니터링.원가절감.소자 특성 변화. |
□ 개발목표
계획
N2 PURGE 기능 외에, FOUP 내부의 RH(%), 또는 O2 농도 등의 Purge 효과지수를 측정 관리할 수 있도록 설계 배치하며, 또한 FOUP 내부의 Particle을 사전 제거할 수 있고 이를 모니터링 할 수 있는 기능을 부가한 다기능 로드포트 개발
실적
1. 자연 산화막 성장 방지
2. 반응성 Particle 방지
3. Purge 효과 지수의 실시간 측정 및 관리
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 상대 습도(%) @ FOUP Door Close
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