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NTIS 바로가기주관연구기관 | 옵토다이나믹스(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-07 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201600006275 |
과제고유번호 | 1425092129 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발 |
DB 구축일자 | 2016-09-03 |
키워드 | 사파이어 웨이퍼.두께측정.비접촉센서.신호처리.자동화. |
□ 개발목표
사파이어 wafer 두께 측정 검사항목에 대한 자동화 system 기술개발 검토로 제조공정중의 사파이어 wafer 두께측정 검사 장비를 개발하여 제품의 품질향상 및 공정 개선
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. Thickness Range
- 계획 : 200~1500 um
- 실적 : 106~1742 um
2. Thickness Accuracy
- 계획 : ±0.5 um
- 실적 : ±0.14 um
3. Thickness Resolution
- 계획 : 0
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