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NTIS 바로가기주관연구기관 | 충남대학교 산학협력단 Chungnam National University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-07 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201600006397 |
과제고유번호 | 1425086777 |
사업명 | 산학연협력기술개발 |
DB 구축일자 | 2016-09-10 |
1. 최종목표
스마트 제품 응용을 위한 저온공정용 FTS 융합공정 장비개발을 통한“참여기업의 글로벌 경쟁력 강화 및 일자리 창출과 육성”
▣ “FTS 융합공정을 이용한 저온공정용 박막형 커패시터 및 장비개발”
- 고 유전율 재료의 저온공정의 박막 제조 공정 개발
- 스마트 제품용 박막형 커패시터의 대면적 증착기술 구현을 통한 FTS 융합공정 확립
- 고품질의 박막형 커패시터 제조 공정 확립을 통한 고신뢰성의 FTS 융합공정 장비 개발
- 고 성능, 고 신뢰성의 박막형 커패시터 시제품 제작 및 저온공정
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