최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 청강문화산업대학교 |
---|---|
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-08 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 한국산학연협회 Korea Association of University, Research Institute and Industry |
등록번호 | TRKO201600006803 |
과제고유번호 | 1425088313 |
사업명 | 산학연협력기술개발 |
DB 구축일자 | 2016-09-10 |
1. 최종목표
* 반도체 WAFER/FPD(GLASS) PROCESS 모니터링 시스템 개발
1. WAFER / GLASS 표면의 온도 모니터링 센서
2. 온도 모니터링 MASTER CONTROLLER
3. 센서 APPLICATION
4. MONITORING SYSTEM
2. 개발내용 및 결과
1). 개발 내용 및 결과
단포인트/면적형 온도센서를 이용한 WAFER 표면 온도 모니터링 시스템
ㄱ. 적외선 포인터 / 면적형 방식의 비접촉 온도 센서
-. 적외선 타입 1 POIN
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.