$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

반도체 장비·재료 성능평가 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국반도체산업협회
Korea Semiconductor Industry Association
연구책임자 이치우
보고서유형연차보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2014-02
과제시작연도 2013
주관부처 미래창조과학부
KA
과제관리전문기관 정보통신산업진흥원
National IT Industry Promotion Agency
등록번호 TRKO201600015217
과제고유번호 1415128833
DB 구축일자 2016-12-17
키워드 장비기술,재료기술,부분품기술,기초성능평가,양산성능평가,성능인증

초록

1. 당해년도 목표
- 반도체 장비·재료·부분품 제조업체에서 개발 완료된 제품의 성능을 소자 대기업에서 평가/인증
- 반도체 분야 기술정보 발굴 및 공유

2. 당해 기반구축 목적 및 중요성
- 반도체 장비·재료·부분품 제조업체에서 개발 완료된 제품의 성능을 소자 대기업에서 평가/인증하며, 기술정보 공유 등을 통해 글로벌 시장진출 기회 확보 및 자립화 기반 마련

3. 기반구축 내용 및 범위
- 국내 반도체 장비·재료·부분품 분야 기술정보 발굴/공유 및 평가 기반구축
- 국내 중소 장

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 요 약 서 (초 록) ... 3
  • 목차 ... 4
  • 제1장 서 론 ... 5
  • 제1절 반도체 장비·재료 성능평가사업의 정의 및 비전 ... 5
  • 2. 최종목표 및 내용 ... 28
  • 3. 당해년도 목표 및 내용 ... 41
  • 제4절 사업변경내역 ... 50
  • 제2장 반도체 장비·재료 성능평가 내용 및 결과 ... 51
  • 제1절 기술개발 정보 발굴 ... 51
  • 제2절 반도체 장비·재료 성능평가 및 인증서 발급 ... 56
  • 제3절 Web-site 활성화 및 정보공유 확대 ... 59
  • 제4절 기술교류회 및 워크숍 ... 63
  • 제5절 성능평가사업 홍보관 운영 ... 65
  • 제3장 반도체 장비·재료 성능평가 추진 성과 ... 66
  • 제1절 목표달성도 ... 66
  • 제2절 관련분야 기대효과 ... 68
  • 제3절 성능평가 결과의 활용 ... 73
  • 제4장 성과활용계획 ... 74
  • 제1절 일반현황 ... 74
  • 제2절 성과활용방향(총괄) ... 74
  • 제3절 차수별 성과활용 계획(성과활용기간) ... 75
  • 제4절 자립운영 방안 ... 75
  • [붙임1] 추진실적현황표 ... 76
  • 별첨 ... 77
  • 끝페이지 ... 192

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로