초록 ▼

□ 최종목표
전량 수입에 의존하고 있는 고부가가치 FE-SEM의 국산화개발을 통하여 국내 수입대체효과 및 해외 수출효과를 극대화하여 매출신장을 도모하고자 함. 제품경쟁력을 확보하기 위하여 1nm의 분해능을 구현함과 동시에, 선행기술인 Auto-stepping mode를 탑재하여 제품 차별화를 도모하고자 함. 또한 전반적인 Module들의 성능 및 기술들을 진일보시키기 위한 도약의 기회를 확보하기 위함.

□ 개발내용 및 결과
FE-SEM은 기존의 Normal SEM과는 달리 초고진공에서 고휘도를 구현할 수 있는

□ 최종목표
전량 수입에 의존하고 있는 고부가가치 FE-SEM의 국산화개발을 통하여 국내 수입대체효과 및 해외 수출효과를 극대화하여 매출신장을 도모하고자 함. 제품경쟁력을 확보하기 위하여 1nm의 분해능을 구현함과 동시에, 선행기술인 Auto-stepping mode를 탑재하여 제품 차별화를 도모하고자 함. 또한 전반적인 Module들의 성능 및 기술들을 진일보시키기 위한 도약의 기회를 확보하기 위함.

□ 개발내용 및 결과
FE-SEM은 기존의 Normal SEM과는 달리 초고진공에서 고휘도를 구현할 수 있는 전계방식의 FE-Tip을 탑재하여 고배율에서 고분해능을 구현하는 영상관찰 및 측정을 동시에 구현하는 분석장비 이다. 따라서 기존의 Normal SEM과는 전자총에서 부터 구조가 차별화되어 있고, 이러한 선행기술이 적용된 전자총으로부터 방사되는 전자빔을 집속시키는 경통구조 또한 새롭게 개발이 되어야 한다. 따라서 오랜 준비기간을 통하여 확보된 기반기술을 통하여 ①전자총 및 경통의 설계 및 개발을 추진하여 제품화에 성공을 거두었다. 또한 제품의 성능 구현을 위하여 기존의 Normal SEM에서 구현하고 있는 제품 요소기술들을 전반적으로 FE-SEM에 맞도록 개발을 추진했다. 즉, ②Lens 제어부들을 집적화 시킨 One Borard 및 F/W 개발, ③Scan Driver 및 Scan generator개발,④ 고압부의 Interface Driver 및 Program, ⑤ 검출기 Up-grade, ⑥Compact SMPS 및 배전반, ⑦초고진공계 설계 및 제작, ⑧UHV 진공디스플레이 Unit개발, ⑨ 또한 해외 1~2업체의 독점물인 FE-Tip 개발,⑩제품 차별화를 위한 Precision Stage개발 및 ⑪ Auto stepping S/W개발과 상용화를 위해 개발을 진행중에 있는 ⑫ GUI S/W 개발과 같은 System 전반을 개발에 집중하여 3.5년 내에 개발을 이룩하였다. 또한 제작공정 내에 재료 및 소재 처리공정 등을 확보하여 기술적인 진일보를 이룩할 수 있었고, 확보된 결과물들은 상용화되고 있는 Normal SEM제품에 탑재하여 제품경쟁력을 높이는 기회가 되었다.

□ 기술개발 배경
저가의 가격 경쟁력의 심화로 기술적 진보 없이 악순환 되고 있는 국내 시장상황에서 선행기술이 집약된 고부가가치의 장비를 개발하여 해외 선진 제품과 가술경쟁을 확보하고자 하였음.


□ 핵심개발 기술의 의의
전자현미경의 핵심기술인 FE-Gun과 Optic을 국내 기술력으로 설계 및 제작하여 제품화에 성공하였다는 점은 대한민국 전자 빔 기술력을 해외에 널리 알리는 큰 계기가 될 수 있다고 평가된다. 더욱이 몇몇 해외 선진대기업의 전유물로 여겨졌던, 첨단과학기술의 산물인 FE-SEM 을 국내 중소기업이 국산화한 점은 매우 이례적이라고 할수 있다. 따라서 하루속히 생산투자를 기반으로 상용화를 이루어내고 다양한 국내산업의 수요를 반영하는 장비개발로 확산할 경우, 부가가치 창출이 매우 클 것으로 기대된다.

□ 적용 분야
국내 산업의 Packing density가 고도화됨에 따라서 반도체 및 디스플레이 시장 및 Nano 기술 분야를 위주로 하는 부품, 소재분야에 크게 활용될 것으로 판단되며, Bio, 화장품, 분말, 섬유, 도장/도금, Filter등 산업 전반에 활용되는 장비이다.

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 기술개발사업 최종보고서 초록 ... 2
• 기술개발사업 주요 연구성과 ... 6
• 목차 ... 10
• 제 1 장 서 론 ... 11
• 제 1 절 과제의 개요 ... 11
• 1. FE-SEM 연구 장비 개발의 중요성 ... 11
• 2. FE-SEM의 제품 개발 배경 ... 11
• 3. FE-SEM 연구 장비 개발 제품의 현황 ... 13
• 4. FE-SEM 제품의 중요성과 파급효과 ... 13
• 제 2 장 과제 수행의 내용 및 결과(기술개발 내용 및 방법) ... 15
• 제 1 절 최종목표 및 평가방법 ... 15
• 제 2 절 단계 목표 및 평가 방법 ... 26
• 제 3 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 34
• 제 4 절 수행 결과의 보안등급 ... 123
• 제 5 절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리현황 ... 124
• 제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 125
• 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 125
• 1. 연구개발 추진 일정 ... 125
• 2. 연구개발 추진 실적 및 최종 결과 ... 127
• 3. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 ... 143
• 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 144
• 제 3 절 시장 현황 및 사업화 전망 (당초 기술개발 시작 시점의 조사와 변화된 것 위주로 기술) ... 145
• 제 4 절 고용 창출 효과 ... 146
• 제 5 절 자체보안관리진단표 ... 147
• 끝페이지 ... 147