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FE-SEM 제품 경쟁력 확보를 위한 디지털 구동 드라이버 개선
Digital Control Driver Development for Global Competition 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 새론테크놀로지
연구책임자 구정회
참여연구자 박민철 , 한심석 , 박세환 , 김재석 , 임재극 , 이봉기 , 김선희 , 이광형 , 이승규 , 홍순현 , 황도경 , 고미애 , 이동수 , 강지훈 , 한재현 , 문성철 , 송병섭 , 최동원
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2016-07
과제시작연도 2015
주관부처 (범부처사업)
NTIS
등록번호 TRKO201800022705
과제고유번호 9991006001
사업명 나노융합2020
DB 구축일자 2018-06-16
키워드 전계방사형 주사전자현미경.Schottky 전자총.초고진공.전계방식의 전자총렌즈.전자빔 경통.FE-SEM.Schottky FEG.UHV.Electrostatic Gun Lens.Electron Optics.

초록

㈜새론테크놀로지는 국내 최초로 전계방사형 주사전자현미경(FE-SEM)을 국산화하는데 성공하였으나,이를 제품화하는 과정에서 FE-SEM에서 요구되는 디지털 컨트롤 드라이버부의 개발에 많은 어려움을 겪고 있었다. 즉, 기존의 범용 SEM의 제품수준을 넘어서 ① 고속 주사속도 유지, ② 영상 노이즈 감소 및 고해상도 영상 확보, ③ 멀티 윈도우를 통한 다양한 S/W 기능 구현과 같은 제품경쟁력을 확보하기 위한 목표사양 달성에 또 다른 어려움에 직면하고 있다. 따라서 신속한 제품 상용화를 위하여 전문기관의 협력을 통하여 단기간에 이를 극복

Abstract

Ⅳ. Results(Achievement of commercialization)
▪ Commercialization of High quality FE-SEM
① Be equipped with Top-Level scan generator to can performs fast scanning speed and high pixel resolution
② Be equipped with Intuitive and user-friendly UX/UI
③ Be equipped with image filters to respo

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 요약서 ... 4
  • 요 약 문 ... 5
  • SUMMARY ... 9
  • CONTENTS ... 13
  • 목차 ... 14
  • 제1장 연구개발과제의 개요 ... 15
  • 1. 연구개발의 필요성 ... 15
  • 2. 연구개발 목표 및 내용 ... 19
  • 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 21
  • 1. 국내외 관련 분야 기술‧제품의 개발현황 ... 21
  • 2. 연구개발 결과가 국내외 기술‧제품 개발 현황에서 차지하는 위치 ... 25
  • 제3장 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 27
  • 1. 최종연구목표(성과목표 및 평가지표) 달성 내용 ... 27
  • 2. 목표 달성 내용 요약 ... 29
  • 3. 주요 개발 내용 및 제품 개발 결과 ... 32
  • 4. 개발 성과 ... 48
  • 5. 관련 산업·기술 분야에의 기여도 ... 51
  • 제4장 연구개발 결과의 활용 계획(종료 이후 사업 계획) ... 53
  • 1. 시장 현황 및 사업화 전망 ... 53
  • 2. 과제종료 시점까지의 사업화 실적 및 향후 계획 ... 55
  • 3. 개발결과(기술, 제품)의 응용·확장성 ... 57
  • 제5장 연구개발 과정에서 수집한 산업기술정보 ... 58
  • 1. 국내 Ion Pump 제품화 ... 58
  • 2. FE-Tip 개발 진행 ... 58
  • 3. Active 제진대 국산화 ... 58
  • 4. 수차감소 및 수차 보정기술 특허 자료 확보 ... 58
  • 5. Hitachi FE-Tip 자체 개발로 Denka FE-Tip의 호환성 문제 대두 ... 58
  • 6. Ion Miller 제품 국산화 ... 58
  • 제6장 연구 시설‧장비 구입 및 관리 현황 ... 59
  • 제7장 참고문헌 ... 60
  • 제8장 최종평가 결과 및 이에 대한 원인 분석 ... 61
  • 부록 1. 성과목표 및 평가지표의 달성도를 객관적으로 증빙할 수 있는 공인시험성적서, 시험평가 데이타, 도면, 설계도 등 ... 63
  • 부록 2. 사업화 매출실적 증빙자료 ... 69
  • 끝페이지 ... 69

표/그림 (38)

참고문헌 (25)

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