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이차이온질량분석법에 의한 다성분 박막 정량분석 표준안 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자 김경중
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2015-07
과제시작연도 2014
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201600017103
과제고유번호 1415134862
사업명 산업기술표준화및인증지원
DB 구축일자 2017-09-20
키워드 이차이온질량분석법.다원소 합금.표면분석.국제표준.국제비교.정량분석.깊이분포도.불확도.CIGS.

초록

1. 최종년도 목표
(1) 다성분 합금 박막 정량분석 국제비교를 통한 소급체계 확립
(2) ISO/TC-201 SC6 국제표준 제정
(3) 다성분 박막 정량분석용 인증표준물질 개발

2. 당해 사업 목적 및 중요성
(1) 사업 목적: 다성분 합금박막 정량분석 및 차세대 박막 태양전지 개발 공정을 위한 분석 기반 확립
(2) 사업의 중요성: 다성분 박막 정량분석 표준절차를 개발하기 위해서는 CIGS 박막에 대한 정량분석법을 확립하고 표준을 확립하여 국제공동분석을 위한 프로토콜을 개발하는 것이 매우

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 최 종 보 고 서 제 출 서 ... 2
  • 제 출 문 ... 3
  • 요 약 서 (초 록) ... 4
  • 목차 ... 6
  • 제 1 장 사업 목표 및 내용 ... 7
  • 제1절 최종 사업 목표 및 내용 ... 7
  • 제2절 연차별 사업변경내역 ... 9
  • 제 2 장 계획대비 실적 ... 10
  • 제1절 계획대비 누적실적 ... 10
  • 제2절 추진 실적 ... 12
  • 제3절 최종 및 연차별 연구 성과 ... 14
  • 제 3 장 주요 연구 결과 ... 16
  • 제1절 표면분석법에 의한 CIGS 박막 정량분석법 개발 ... 16
  • 제2절 CIGS 박막 정량분석 소급체계확립 ... 33
  • 제3절 CIGS 박막 정량분석 국제표준 개발 ... 56
  • 제4절 CIGS 박막 인증표준물질 개발 ... 62
  • 제5절 연구 결과 요약 및 결론 ... 66
  • 제4장 성과활용계획 ... 67
  • 제1절 성과활용방향 (총괄) ... 67
  • 제2절 성과활용 차수별 활용계획(성과활용기간) ... 67
  • 끝페이지 ... 68

표/그림 (18)

참고문헌 (25)

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